项目信息

项目名称：科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手

项目编号：XF-WSBX-******

公告开始日期：2025-09-28 10:54:45

公告截止日期：2025-10-05 12:00:00

******大学

付款方式：货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

联系人：中标后在我参与的项目中查看

联系电话：中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求：成交后2个工作日内

到货时间要求：成交后30个工作日内

预算：￥200000.00

收货地址：玉泉校区微电子楼超净实验室108

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明：

采购清单

采购商品：科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：电子工业生产设备

预算：￥200000.00

技术参数及配置要求：1.运动控制精度与稳定性
1）重复定位精度:±0.1mm以内；
2）S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆。
2.材料与环境适应性
1）真空环境：1.33×10-6Pa
2）洁净度要求：ISO CLASS2以上；
3）温度：真空腔体内常温；
3.结构设计与负载能力
1）在下图黑色框区域内手臂回转，机械手指从出料口取片，通过上料口运送至行程840mm的指定位置。手臂伸出距离840mm，干涉范围600mm，旋转范围330°，Z轴行程40mm。
2）负载能力
可搬运质量：1kg，并提供定制手指。

售后服务：服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;